Acetoncarussel

 

 

 

• Dieses Maskenstrippersystem ist eine Waferreinigungsanlage für das Strippen von ungesägten oder gesägten schutzüberzogenen Wafern, die mit Aceton oder optional mit IPA gereinigt werden

• Die Wafer werden auf einer spezillen Vorrichtung fixiert. Eine spezielle Dichtung verhindert das Eindringen von Aceton

• Das Waferkarussell ist für 4"- bis 8"- Substrate geeignet

• Der Prozeßraum ist abgegrenzt in eine Prozesskammer und in eine Sprühkammer

• Das Medium wird durch eine kontrollierte Sprühdüse zur Waferoberfläche geführt, abhängig von der Sensibilität des Bausteines