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Nassprozesssysteme

Gemenex PV Nassprozessanlage für Großsubstrate Mini Gemenex Manuelle Nassbänke

Reinigungssysteme Facility Systeme Referenzen

Halbautomatische Nassprozessanlage für Laboranwendungen und Recycling mit 2 oder 3 Prozessbecken

Anwendungen

Ätzen, Reinigen, Spülen
Prozessentwicklung
Recycling von Si

Wafergrößen / Substratgrößen

Substrate bis 210 x 210 mm
Si - Bruch

Besonderheiten

Flexibel durch leistungsstarke Steuerung und Software
Sehr gute Reproduzierbarkeit der Prozessergebnisse durch vollautomatische Umsetzvorgänge und Rezeptablauf
Sehr hoher Sicherheitsstandard durch geschlossenen Prozessraum
Extrem kleiner Footprint
Sehr niedrige Betriebskosten durch geringen Wartungsaufwand und langlebige Komponenten

Optionen

variable Konzentrationen in den Prozessbecken durch integrierte hochgenaue Durchflussmesser
FM 4910 kompatible Ausführung