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Automatisierte Anlage für Sprühreinigung von Booten

Anwendungen
- Sprühreinigung von Graphit- und Quartzbooten, sowie weiteren Einbauteilen aus Diffusions- bzw. PECVD - Anlagen
- Entfernen von SiN oder SiO2 P2O5
Durchsatz
- 7,5 Graphitboote / Tag bei 24h Betrieb
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