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Automatisierte Anlage für Sprühreinigung von Booten


 

Spray Cleaner

 

 

Anwendungen

 

  • Sprühreinigung von Graphit- und Quartzbooten, sowie weiteren Einbauteilen aus Diffusions- bzw. PECVD - Anlagen
  • Entfernen von SiN oder SiO2 P2O5

 

 

Durchsatz

 

  • 7,5 Graphitboote / Tag bei 24h Betrieb