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Automatisierte Anlage für Sprühreinigung von Trays
Anwendungen
- Sprühreinigung von Trays sowie weiteren Einbauteilen aus PECVD – Anlagen
- Entfernen von SiN
Durchsatz
- 1 Tray/h bei Beladung mit 6 Trays
Wafergrößen / Batchgrößen
- Trays bis 1.840 x 1.000 mm (Beladung mit 6 Trays) oder 2.000 x 1.500 mm (Beladung mit 3 Trays)
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