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Nassprozesssysteme

Gemenex PV Nassprozessanlage für Großsubstrate Mini Gemenex Manuelle Nassbänke

Reinigungssysteme Facility Systeme Referenzen

Vollautomatische Nassbank

Anwendungen

Sägeschaden
Pre-Clean
Texturierung
PSG Ätzen

Durchsatz

Texturierung: > 2.000 W./h

PSG Ätze: > 4.000 W./h

Wafergrößen / Batchgrößen

156 x 156 mm, auf 210 x 210 mm umrüstbar
Waferdicke min. 150 µm; 100 Wafer od. 200 Wafer / Batch

Besonderheiten

konstante Ätzrate u.a. durch "Bleed and Feed"
Trocknungstechnologie für höhere Ausbeute durch Vermeidung von Bruch und Trocknungsflecken
Optimiert für niedrige Betriebskosten u.a. durch niedrigen Wartungsaufwand und langlebige Komponenten
Energie- und Wasserspartechnologie
Steuerung mit umfassender Parameterkontrolle
Fernwartung möglich
Loggen der Prozessparameter

Optionen

FM 4910 kompatible Ausführung