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Nassprozesssysteme

Gemenex Mini-Gemenex IPA Trockner Manuelle Nassbänke Fume Hood

Reinigungssysteme Chemiesysteme

IPA Trockner

Anwendungen

Trocknen von hydrophilen und hydrophobischen Wafern

Durchsatz

Bis zu 300 Wafern / h

Wafergrößen / Batchgrößen

2 x 25 Wafer 6“
2 x 25 Wafer 8“
1 x 50 Wafer 8“
1 x 50 Wafer 12“
Festplatten 2,5“ and 3,5“
1 x 25 Wafer 6”
1 x 25 Wafer 8”

Besonderheiten

Trocknungstechnologie für höhere Ausbeute durch Vermeidung von Bruch und Trocknungsflecken (nicht anwendbar für Membrane)
Sehr geringer Verbrauch von IPA
Hoher Sicherheitsstandard
Außerordentlich gutes Partikelergebnis
Geringe Betriebskosten durch langlebige Komponenten und minimalem Wartungsaufwand
Touch Screen Bedienung
Kommunikationsschnittstelle zur Nassbank durch potentialfreie Kontakte

Optionen

FM 4910 Kompatibilität
Ultrakompakte Ausführung (550 mm breit)
Umrüstsätze (z.B. 8“ – 12 „)